磁界共振結合を用いたMoving Coil型ワイヤレスリニアモータの基礎検討

摘要

半導体·液晶製造装置は，ステージを高速高精度に位置決めする必要があり，機構·制御ともに研究が重ねられてきた。ステージの位置決め性能に関わる要因をFig.1に示す。精密位置決めステージに間する制御手法は数多く提案されており，制御帯域の高帯域化により制御性能が高められている。一方，機構面では機械共振と外乱の影響の抑制が主な課題であり，機械共振に関しては装置の構造を工夫し共振周波数を高めることにより解決がなされてきた。