MEMS加速度センサの加速度検出感度のばらつきを考慮した拡張力ルマンフイルタによる2慣性共振系の負荷状態量推定

摘要

近年の製造現場では，工作機械や検査装置など多くの産業用機器が使用されており，こうした各種産業用機器においては，高速·高精度の位置決め技術の獲得が製品の高品質化やスループットの向上につながる重要課題である。このような産業用機器においては，その低剛性部で発生する振動や歯車機構におけるバックラッシなどの影響から，モータに設置されるエンコーダ状態量と実際の負荷状態量に誤差が生じており，こうした要因が機器の位置決め性能の劣化につながっている。これらの問題に対し，負荷状態量の獲得，および位置決め制御性能の向上には高精度センサの利用が不可欠となるが，費用面や設置個所の物理的制約から，負荷状態量の検出用にセンサが利用できない場面も多く，機器によっては観測量と制御量が異なるセミクローズド制御系を構築することも多い。