金属氧化物薄膜晶体管的激光退火

摘要

金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)具有较高的载流子迁移率(10～100 cm2/V·s),且薄膜均匀性好、制备温度低和可见光透明的优点,被认为是最有前途的新一代TFT.激光退火因具有能量高、速度快、对衬底损伤小和退火范围可控的特点,相比传统热退火,更适用于柔性和大尺寸背板的制备.本文综述了有关金属氧化物薄膜及MOTFT激光退火的研究进展;详细讨论了激光退火中的关键参数;系统阐述了激光对金属氧化物薄膜的作用以及激光对MOTFT性能的影响.最后,总结了现在激光退火技术存在的问题以及发展方向.