“液相外延推舟装置”通过鉴定

摘要

＜正＞ 光电器件目前已广泛应用于各个领域,特别是光通信技术的发展对光器件无论从数量上还是质量上都提出了迫切的要求。液相外延技术是研制生产光电器件和集成功能块的一项重要工艺手段。在外延生长过程中要想准确地进行工艺分析和改进工艺条件,获得高质量的多层外延薄膜结构,其关键条件之一就是工艺条件的可重复性。目前,国内液相外延工艺中,石墨舟滑块的推进大都采用手动推进方式,由于人异因素和随机起伏的影响,已不能满足器件批量生产的需要。