后处理对近空间升华法制备CdS薄膜性能影响研究

摘要

将近空间升华法(CSS)沉积所得的CdS薄膜进行退火处理,利用XRD、SEM、暗电导温度关系研究不同退火条件对CdS多晶薄膜性能的影响.结果表明退火后CdS多晶薄膜在(002)面上具有择优取向;退火促使再结晶并促进晶粒长大;暗电导(dark-σ)随退火温度增加而增加,暗电导激活能(Ea)随退火温度的增加而减少.最后得到较优化的退火条件,获得适合作为CdTe太阳电池窗口层的CdS薄膜.