微球CH膜表面光洁度影响因素研究

摘要

采用低压等离子体化学气相沉积法(LPPCVD),在塑料微球表面制备了非晶碳氢(α-C:H)薄膜。利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行了分析,主要研究了芯轴表面形貌、碰撞、反弹盘表面材料、薄膜厚度等四个因素对微球CH涂层表面形貌的影响,结果表明:芯轴表面形貌对CH涂层的表面形貌影响很大,改善芯轴表面形貌可提高涂层表面光洁度;当反弹盘的表面材质不同时,制备出的微球涂层的表面粗糙度有不同程度的差别;碰撞是引起微球CH涂层表面榴状突起的重要原因之一;微球CH涂层表面粗糙度随膜厚增加而单调增加。