...
机译:脉冲直流磁控管溅射压电薄膜氮化铝-工艺和压电性能
Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, Chemnitz 09126, Germany;
机译:脉冲直流磁控溅射压电薄膜氮化铝-工艺与压电性能。
机译:基于微机电系统的振动能量收割机,脉冲直流磁控溅射沉积氮化铝压电薄膜
机译:衬底偏置对脉冲DC磁控溅射的压电性能的影响溅射AIN薄膜
机译:反应性RF磁控溅射沉积的石英基板上氮化铝薄膜的结构和压电性能
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:用于压电应用的氮化铝(002)薄膜的反应溅射:综述
机译:脉冲DC磁控溅射沉积的氮化铝薄膜的结构和光学性质