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机译:低温等离子体沉积硅外延膜:生长和性能
École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Institute of Microengineering (IMT), Photovoltaics and Thin-Film Electronics Laboratory, Maladière 71B, CH-2000 Neuchâtel, Switzerland;
机译:低温等离子体沉积硅外延膜:生长和性能
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机译:扫描隧道显微镜研究si(111) - (7X7)上硅的低温外延生长。