法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/04 申请公布日:20150318 申请日:20140711
发明专利申请公布后的驳回
2016-10-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20140711
实质审查的生效
2015-03-18
公开
公开
机译: 薄膜沉积装置,使用该薄膜沉积装置的沉积方法以及使用该薄膜沉积装置的有机发光显示装置的制造方法
机译: 包括垂直叠层加热器的薄膜沉积装置和使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法
机译: 薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置制造薄膜沉积的方法