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薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法

摘要

本发明涉及一种薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法。所述薄膜沉积装置包括:沉积源和角度限制板,该沉积源经由喷射孔朝向基板喷射沉积蒸气,该角度限制板被布置为邻近所述喷射孔,以便在设定范围内限制从所述喷射孔喷射所述沉积蒸气的角度。所述角度限制板包括相对于所述喷射孔被固定的固定限制板和相对于所述喷射孔能移动的能移动限制板。

著录项

  • 公开/公告号CN103866237B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星显示有限公司;

    申请/专利号CN201310246571.9

  • 发明设计人 姜声钟;

    申请日2013-06-20

  • 分类号

  • 代理机构北京德琦知识产权代理有限公司;

  • 代理人张红霞

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2022-08-23 10:09:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-06

    授权

    授权

  • 2015-11-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20130620

    实质审查的生效

  • 2014-06-18

    公开

    公开

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