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公开/公告号CN103866237B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 三星显示有限公司;
申请/专利号CN201310246571.9
发明设计人 姜声钟;
申请日2013-06-20
分类号
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人张红霞
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 10:09:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-06
授权
2015-11-25
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20130620
实质审查的生效
2014-06-18
公开
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机译: 包括垂直叠层加热器的薄膜沉积装置和使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法
机译: 薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置制造薄膜沉积的方法
机译:有机薄膜沉积装置,有机EL元件制造装置和有机薄膜沉积方法已获专利
机译:Riber和TTT发射EZ-Curve,一种用于真空薄膜沉积的原位控制装置
机译:薄膜沉积装置UNIVEX
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