公开/公告号CN114045468A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院);
申请/专利号CN202111283138.3
申请日2021-11-01
分类号C23C14/50(20060101);C23C14/54(20060101);
代理机构34115 合肥天明专利事务所(普通合伙);
代理人张梦媚
地址 230013 安徽省合肥市新站高新区文忠路999号
入库时间 2023-06-19 14:12:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-15
公开
发明专利申请公布
机译: 坩埚组件,一种用于控制其加热装置的方法以及一种薄膜沉积设备,该薄膜沉积设备包括能够显着提高用于加热和蒸发有机材料的工作效率的薄膜沉积设备
机译: 薄膜沉积设备的清洁方法,薄膜沉积方法,薄膜沉积设备和程序
机译: 薄膜沉积设备的清洁方法,薄膜沉积方法,薄膜沉积设备和程序