薄膜沉积设备及使用该薄膜沉积设备的薄膜沉积方法

摘要

本发明公开了一种薄膜沉积设备和使用该薄膜沉积设备的薄膜沉积方法。该薄膜沉积设备包括：室，被构造成具有安装在所述室中的基底；喷射单元，被构造成在室中移动且向基底喷射沉积蒸汽；以及源供应单元，被构造成向喷射单元供应沉积蒸汽的源。