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1.
Thermal characterization of power transistors by close-infrared thermography method
机译:
用近红外热成像方法对功率晶体管进行热表征
作者:
S. Dhokkar
;
B. Serio
;
J.J Hunsinger
;
P. Lagonotte
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
close infrared thermography;
power transistor;
MOSFET temperature measurement;
radiometric method;
2.
Three dimensional optics for three dimensional imaging: physics, fabrication and computation
机译:
用于三维成像的三维光学器件:物理,制造和计算
作者:
W. J. Arora
;
W. Sun
;
K. Tian
;
P. Stellman
;
L. Waller
;
G. Barbastathis
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
3.
Reliability engineering - basics and applications for optoelectronic components and systems
机译:
可靠性工程-光电组件和系统的基础和应用
作者:
Marcel Held
;
Rolf Broennimann
;
Philipp M. Nellen
;
Ling Zhou
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
reliability;
availability;
failure rate;
optical components;
4.
One-Shot Line-Profiling White Light Interferometer with Spatial Phase Shift for Measuring Rough Surfaces
机译:
具有空间相移的一键轮廓线白光干涉仪,用于测量粗糙表面
作者:
M. Hering
;
S. Herrmann
;
M. Banyay
;
K. Koerner
;
B. Jaehne
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
interferometry;
white light;
high speed;
topography;
rough surfaces;
line-profiler;
one shot detection;
5.
Nanometrology for MEMS : combination of optical interference, atomic force microscopy and nanoindentor-based actuator
机译:
MEMS纳米计量学:光学干涉,原子力显微镜和基于纳米压痕的执行器的组合
作者:
Marc Jobin
;
Philippe Passeraub
;
Raphael Foschia
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
nanometrology;
interference microscopy;
atomic force microscopy;
MEMS;
6.
Interferometric measurement of thermal expansion coefficients and thermo-optic coefficients in ferroelectric crystals
机译:
铁电晶体热膨胀系数和热光系数的干涉测量
作者:
F. Pignatiello
;
M. De Rosa
;
P. Ferraro
;
A. Arie
;
S. Grilli
;
L. Sansone
;
S. De Nicola
;
P. De Natale
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
thermal expansion coefficient;
thermo-optic coefficient;
ferroelectric crystals;
7.
In-process 3D assessment of micromoulding features
机译:
过程中3D评估微成型特征
作者:
B R Whiteside
;
R Spares
;
P D Coates
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
micromoulding;
extended depth of field;
surface measurement;
8.
Influence of the physico-chemical and photonic parameters on mechanical and optical properties of end-of-fiber polymer tips
机译:
物理化学和光子参数对纤维端聚合物尖端的机械和光学性能的影响
作者:
Safi Jradi
;
Olivier Soppera
;
Christiane Carre
;
Daniel J. Lougnot
;
Renaud Bachelot
;
Pascal Royer
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
photopolymer;
micro-optics;
SNOM;
photopatterning;
optical fiber;
9.
Measurements of corner cubes microstructures by high-magnification digital holographic microscopy
机译:
高倍数数字全息显微镜对角立方组织的测量
作者:
Jonas Kuehn
;
Etienne Cuche
;
Yves Emery
;
Tristan Colomb
;
Florian Charriere
;
Frederic Montfort
;
Mikhail Botkine
;
Nicolas Aspert
;
Christian Depeursinge
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
microscopy;
digital holography;
high aspect-ratio;
transparent microstructures;
comer cube;
metrology;
10.
Miniaturized low-cost digital holographic interferometer
机译:
小型低成本数字全息干涉仪
作者:
Aneta Michalkiewicz
;
Malgorzata Kujawinska
;
Pawel Marc
;
Leszek R. Jaroszewicz
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holography;
digital holographic interferometry;
holocamera;
11.
Experimental proof-of-principle 3D measurements of microobjects by digital holographic tomography
机译:
通过数字全息层析成像进行微对象的实验原理性3D测量
作者:
Agata Jozwicka
;
Malgorzata Kujawinska
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holographic tomography;
off-line holography;
amplitude and phase microelements;
12.
Fabrication Technique of Nano-grating Using AFM
机译:
原子力显微镜纳米光栅的制备技术
作者:
Huimin Xie
;
Zhanwei Liu
;
Ming Zhang
;
Wei Zhang
;
An Asundi
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
atomic force microscope (AFM);
nano-lithography;
grating fabrication;
nano-grating;
digital moire;
13.
Fabrication, characterization and reliability study of AlN driven cantilevers
机译:
AlN驱动悬臂的制造,表征和可靠性研究
作者:
A. rei
;
K. Krupa
;
M. Jozwik
;
L. Nieradko
;
C. Gorecki
;
L. Hirsinger
;
P. Delobelle
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
AlN;
cantilever;
interferometry;
reliability;
thermal aging;
MEMS;
14.
Fast wavelength-scanning interferometry technique with derivative detection of quadrature signals
机译:
快速波长扫描干涉测量技术,具有正交信号的导数检测
作者:
O. Cip
;
B. Mikel
;
J. Lazar
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
wavelength-scanning interferometry;
absolute interferometry;
tunable laser;
15.
High Resolution Stress Measurements for Microsystem and Semiconductor Applications
机译:
用于微系统和半导体应用的高分辨率应力测量
作者:
Dietmar Vogel
;
Juergen Keller
;
Bernd Michel
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
stress;
focused ion beam;
sensor;
digital image correlation;
microsystems;
strain measurement;
16.
Characterization of particle contamination for optical application
机译:
光学应用中颗粒污染的表征
作者:
I. Tovena
;
S. Palmier
;
S. Garcia
;
P.Manach
;
E.Sellier
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
contamination;
particle;
characterization;
optics;
optical particle counter;
17.
Automated variable wavelength interferometry in reflected light mode
机译:
反射光模式下的自动可变波长干涉仪
作者:
D. Litwin
;
J. Galas
;
N. Blocki
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
interferometry;
variable wavelength;
profilometry;
refractive index;
wollaston prism;
polarizing interference microscopy;
18.
Digital in-line holography for dynamic micro-metrology
机译:
用于动态微计量学的数字在线全息术
作者:
Vijay Raj Singh
;
Gopalkrishna Hegde
;
An Krishna Asundi
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holography;
in-line configuration;
CCD;
time average method;
numerical reconstruction;
19.
A novel optical detection system for chromatography applications
机译:
色谱应用的新型光学检测系统
作者:
W. Meulebroeck
;
H. Ottevaere
;
K. Scheir
;
D. Clicq
;
G. Desmet
;
H. Thienpont
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
confocal microscopy;
wide-field microscopy;
epi-fluorescence microscopy;
fluorescence;
optical design;
ray-tracing;
detection system;
micro-channel;
chromatography;
fluid mechanics;
20.
A new fiber optic modular sensing system for pressure, strain and temperature measurements
机译:
用于压力,应变和温度测量的新型光纤模块化传感系统
作者:
P. Lesiak
;
T. R. Wolinski
;
J. Tul
;
A. W. Domanski
;
R. Wisniewski
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
keyword: birefringent fibers;
polarimetric strain sensor;
spectral and temperature properties;
21.
Automatic procedure for aberrations compensation in digital holographic microscopy
机译:
数字全息显微镜中像差补偿的自动程序
作者:
Tristan Colomb
;
Jonas Kuehn
;
Etienne Cuche
;
Florian Charriere
;
Frederic Montfort
;
Anca Marian
;
Nicolas Aspert
;
Pierre Marquet
;
Christian Depeursinge
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holography;
aberration compensation;
microscopy;
phase measurement;
22.
Application of the photoelastic tomography to measurement of refractive indices in optical anisotropic microelements
机译:
光弹性体层摄影术在光学各向异性微元件折射率测量中的应用
作者:
Pawel Kniazewski
;
Tomasz Kozacki
;
Malgorzata Kujawinska
;
Katarzyna Szaniawska
;
Tomasz R.Wolinski
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
birefringence;
liquid crystals;
tomography;
photoelasticity;
optical metrology;
FDTD;
23.
AFM benchmark for the profile characterisation of subwavelength diffractive elements within the EC Network of Excellence on Micro-Optics NEMO
机译:
AFM基准,用于EC卓越微电子NEMO网络中亚波长衍射元件的轮廓表征
作者:
N. Destouches
;
H.P. Herzig
;
W. Nakagawa
;
H. Ottevaere
;
J. Pietarinen
;
S. Reynaud
;
J. Tervo
;
S. Tonchev
;
J. Turunen
;
J. Van Erps
;
M. Kujawinska
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
atomic force microscopy;
diffraction grating;
metrology;
round robin;
24.
An integrated approach for photonic crystal inspection and characterization
机译:
光子晶体检查和表征的集成方法
作者:
B.Tiribilli
;
P.Ferraro
;
S. Grilli
;
G. Molesini
;
M. Vannoni
;
M. Vassalli
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
photonic crystals;
white light interferometry;
AFM;
digital holography;
25.
A Comparison of Surface Metrology Techniques
机译:
表面计量技术的比较
作者:
Mike Conroy
;
Joe Armstrong
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
26.
Silicon-on-insulator microphotonic devices
机译:
绝缘体上硅微光子器件
作者:
Laurent Vivien
;
Eric Cassan
;
Delphine Marris-Morini
;
Sylvain Maine
;
Mathieu Rouviere
;
Jean-Francois Damlencourt
;
Jean-Marc Fedeli
;
Anatole Lupu
;
Daniel Pascal
;
Xavier Le Roux
;
Suzanne Laval
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
microphotonic devices;
silicon on insulator;
optical waveguides;
optical interconnects;
optical modulator;
germanium photodetector;
27.
Engineering and Characterization of Ferroelectric Microstructures for Photonic Crystal Applications
机译:
用于光子晶体应用的铁电微结构的工程与表征
作者:
Simonetta Grilli
;
Pietro Ferraro
;
Lucia Sansone
;
Melania Paturzo
;
Sergio De Nicola
;
Andrea Finizio
;
Giovanni Pierattini
;
Paolo De Natale
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
lithium niobate;
electro-optical materials;
photonic crystals;
28.
The US National Nanotechnology Infrastructure Network and Support of Photonics Research and Development
机译:
美国国家纳米技术基础设施网络和光子学研究与开发的支持
作者:
Sandip Tiwari
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
nanotechnology;
photonics;
fabrication;
synthesis;
inter-disciplinary research;
29.
PV Solar Electricity: Status and Future
机译:
光伏太阳能发电:现状与未来
作者:
Winfried Hoffmann
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
30.
X-ray Diffraction in Optical Micro-systems Technology
机译:
光学微系统技术中的X射线衍射
作者:
Giovanni Berti
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
x-ray diffraction;
uncertainty;
calibration;
round robin;
networking;
31.
Tomography using multiple wavelengths in digital holography: Method, simulations and experiments
机译:
数字全息术中使用多个波长的层析成像:方法,模拟和实验
作者:
Frederic Montfort
;
Florian Charriere
;
Tristan Colomb
;
Jonas Kuehn
;
Etienne Cuche
;
Christian Depeursinge
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holography;
image reconstruction technique;
microscopy;
tomography;
three-dimensional image acquisition;
32.
Systematic effects in coherence peak and phase evaluation of signals obtained with a vertical scanning white-light Mirau interferometer
机译:
用垂直扫描白光Mirau干涉仪获得的信号的相干峰和相位评估的系统影响
作者:
Peter Lehmann
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
white-light interferometry;
optical profilometry;
mirau interferometer;
surface slope;
coherence peak;
phase evaluation;
dispersion;
33.
Pulsed Force Mode AFM characterization of photopatterned polymer films for holographic data storage application
机译:
全息数据存储应用的光致图案化聚合物薄膜的脉冲力模式AFM表征
作者:
Olivier SOPPERA
;
Safi JRADI
;
Christiane CARRE
;
Daniel LOUGNOT
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
AFM;
photopolymerization;
holography;
photopatterning;
34.
Real-time surface deformations control during laser processing
机译:
激光加工过程中的实时表面变形控制
作者:
Matija Jezersek
;
Janez Diaci
;
Janez Mozina
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
laser materials processing;
laser triangulation;
laser profilometry;
deformation measurement;
laser bending;
laser drilling;
laser engraving;
35.
Optical characterization of spherical microlenses: a round robin experiment within the EC Network of Excellence on Micro-Optics NEMO
机译:
球面微透镜的光学表征:EC卓越微网络NEMO网络中的循环实验
作者:
Heidi Ottevaere
;
Johannes Schwider
;
Juergen Lamprecht
;
Jacek Kacperski
;
Anna Szpak
;
Lothar Steinbock
;
Ken Weible
;
Hugo Thienpont
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
refractive optics;
spherical microlenses;
interferometry;
profilometry;
optical quality;
measurement techniques;
optical characterization;
round robin;
36.
Optical System for Weld-piece Distortion Measurement during pulsed Laser Welding
机译:
脉冲激光焊接过程中用于焊接件变形测量的光学系统
作者:
Ales Gorkic
;
Matija Jezersek
;
Janez Mozina
;
Janez Diaci
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
laser profilometry;
laser welding;
distortion;
mild steel;
37.
Interferometric measurement of thickness of silicon nitride layer in bi-morph silicon MEMS
机译:
双晶硅MEMS中氮化硅层厚度的干涉测量
作者:
P. Ferraro
;
M. Paturzo
;
S. De Nicola
;
A. Finizio
;
G. Pierattini
;
G. Coppola
;
M. Iodice
;
V. Striano
;
M. Gagliardi
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
interferometry;
MEMS;
digital holography;
thickness measurement;
38.
Interferometric and confocal techniques for testing of silicon wafers
机译:
干涉和共聚焦技术,用于测试硅晶片
作者:
J. Galas
;
D. Litwin
;
S. Sitarek
;
B. Surma
;
B. Piatkowski
;
A. Miros
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
profilometry;
interferometry;
shape;
thickness;
flatness measurements;
helium atom microscopy;
confocal sensors;
39.
Image formation in digital holography
机译:
数字全息术中的图像形成
作者:
Fucai Zhang
;
Giancarlo Pedrini
;
Wolfgang Osten
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holography;
image sensor;
space bandwidth product;
sampling theorydigital holography;
image sensor;
space bandwidth product;
sampling theory;
40.
LCOS as a reference element in Twyman-Green laser interferometer
机译:
LCOS作为Twyman-Green激光干涉仪中的参考元件
作者:
Jacek Kacperski
;
Malgorzata Kujawinska
;
Michal Jozwik
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
two-beam interferometry;
liquid crystal on silicon (LCOS);
wavefront corrector;
active interferometry;
microelements measurement;
41.
Local Protein/Gene Density Measurements Using SMI Microscopy
机译:
使用SMI显微镜进行局部蛋白质/基因密度测量
作者:
Udo J. Birk
;
David Baddeley
;
Christoph Cremer
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
refractive index;
local protein density;
SMI microscopy;
transcription factories;
42.
Measurement of thermal expansion of MEMS and electronic components
机译:
测量MEMS和电子元件的热膨胀
作者:
Hans Reinhard Schubach
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
MEMS;
thermal expansion;
electronic components;
CTE;
optical strain measurement;
43.
Metrological scanning probe microscope
机译:
计量扫描探针显微镜
作者:
N. Dorozhovets
;
T. Hausotte
;
E. Manske
;
G. Jaeger
;
N. Hofmann
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
metrological scanning probe microscope;
atomic force microscope;
interferometer;
SPM;
AFM;
44.
Generation of High-Order Optical Vortices
机译:
高阶光学涡旋的产生
作者:
Ya. V. Izdebskaya
;
V.G. Shvedov
;
A.V. Volyar
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
optical vortex;
dielectric-wedge system;
45.
Characterization of cylindrical micro-lenses in transmitted light and with grazing incidence interferometry in reflected light
机译:
透射光中的圆柱微透镜的特性以及反射光中的掠入射干涉法
作者:
Juergen Lamprecht
;
Norbert Lindlein
;
Johannes Schwider
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
phase shifting interferometry;
null test;
cylindrical micro lens;
diffractive optics;
grazing incidence;
46.
Characterization of dents and grooves on polymer films using Scanning White Light Interferometry
机译:
使用扫描白光干涉法表征聚合物薄膜上的凹痕和凹槽
作者:
Ivan Kassamakov
;
Kari Ojala
;
Ari Salmi
;
Edward Haeggstroem
;
Juha Aaltonen
;
Arne Huber
;
Heimo Saarikko
;
Mathias Oesterberg
;
Markku Oinonen
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
interferometry;
SWLI;
polymer films;
47.
Comparison of various optical characterization techniques for the surface analysis of optical-grade germanium infrared materials
机译:
光学级锗红外材料表面分析中各种光学表征技术的比较
作者:
Heidi Ottevaere
;
Anna Szpak
;
Igor Romic
;
Jan Van Nylen
;
Hans Vercammen
;
Dirk Vyncke
;
Malgorzata Kujawinska
;
Hugo Thienpont
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
interferometry;
profilometry;
atomic force microscopy;
surface roughness;
germanium;
48.
Benchmarking instrumentation tools for the characterization of micro-optics within the EC Network of Excellence on Micro-Optics NEMO
机译:
EC卓越微电子NEMO网络中用于微光学表征的基准测试工具
作者:
H. Ottevaere
;
N. Destouches
;
C. Gorecki
;
T. Kossek
;
S. Pelli
;
R. Piramidowicz
;
P. Szcepanski
;
M. Kujawinska
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
optical quality;
measurement techniques;
optical characterization;
round robin;
micro-optics;
49.
Continuous writing technique of long gratings for metrological applications
机译:
计量应用中长光栅的连续写入技术
作者:
Emilie Gamet
;
Yves Jourlin
;
Stephanie Reynaud
;
Jean-Claude Pommier
;
Olivier Parriaux
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
long grating;
submicron period grating;
interference lithography;
phase mask;
50.
Aberration free reconstruction algorithm for high numerical aperture digital hologram
机译:
高数值孔径数字全息图的无像差重建算法
作者:
Fucai Zhang
;
Giancarlo Pedrini
;
Wolfgang Osten
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
digital holography;
high numerical aperture;
fast algorithm;
image reconstruction techniques;
51.
A new wireless and miniaturized high resolution optical displacement sensor
机译:
新型无线小型高分辨率光学位移传感器
作者:
Y. Jourlin
;
O. Parriaux
;
S. Reynaud
;
J. C. Pommier
;
M. Johnson
;
A. Last
;
M. Guttmann
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
optical encoders;
gratings;
52.
An optical differential probe for the measurement of MEMS topography
机译:
用于测量MEMS形貌的光学差分探头
作者:
Z. Li
;
K. Herrmann
;
F. Pohlenz
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
optical interferometry;
confocal microscopy;
topography;
MEMS transducer;
nanometrology;
micro-tensile testing;
53.
Design, modeling, and prototyping of microinterferometric tomography system for optical fiber inspection
机译:
用于光纤检查的微干涉断层扫描系统的设计,建模和原型设计
作者:
Rafal Krajewski
;
Bart Volckaerts
;
Youri Meuret
;
Malgorzata Kujawinska
;
Hugo Thienpont
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
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2006年
关键词:
interferometric tomography;
3D refractive index distribution;
waveguide interferometer;
deep proton writing;
fiber test;
54.
Discussion of the Finite Element Method in Optical Diffraction Tomography
机译:
光学衍射层析成像中的有限元方法探讨
作者:
Julia Lobera
;
Jeremy Coupl
会议名称:
《Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology》
|
2006年
关键词:
optical diffraction tomography;
coherent microscopy;
scattering inverse problem;
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